大河網(wǎng)訊(記者 王建芳)2月18日，河南省“奮進(jìn)新征程 建功新時(shí)代”采訪團(tuán)來到鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司(以下簡(jiǎn)稱“三磨所”)超硬材料磨具國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室采訪觀摩。

眾所周知，半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)是電子信息產(chǎn)業(yè)的核心與基石，作為高端制造業(yè)的“皇冠明珠”，芯片制造代表了世界最高水平精細(xì)加工技術(shù)。而芯片劃切因其涉及樹脂、陶瓷、銅鎳等金屬、玻纖等多元成分，具有軟硬不同狀態(tài)、復(fù)雜多層結(jié)構(gòu)等特質(zhì)，其劃切極易出現(xiàn)崩口、引線拉毛、分層、燒熔等損傷問題，困難極大。

超硬材料磨具國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任劉明耀介紹說，該實(shí)驗(yàn)室是行業(yè)唯一國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。之前，我國(guó)芯片自給率低，相關(guān)劃切技術(shù)也是長(zhǎng)期落后于人，已成為制約我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“芯病”。在國(guó)家科技計(jì)劃項(xiàng)目的支持下，三磨所超硬材料磨具國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室突破了超薄砂輪高效精密劃切磨損機(jī)制、極薄砂輪(0.01mm)等系列關(guān)鍵技術(shù)，研制出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的半導(dǎo)體芯片精密劃切用系列超薄砂輪，解決了我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)芯片的精密高效劃切難題，打破了國(guó)外技術(shù)壟斷。

目前，該項(xiàng)目成果具備完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，授權(quán)專利42項(xiàng)，國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)2項(xiàng)，且已在鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司進(jìn)行批量化生產(chǎn)，成功應(yīng)用于日月光、安靠、江蘇長(zhǎng)電等國(guó)際頂級(jí)芯片制造企業(yè)。

據(jù)了解，超硬材料磨具國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室于2015年9月批準(zhǔn)籌建，實(shí)驗(yàn)室建成以來，充分發(fā)揮學(xué)科特色優(yōu)勢(shì)，深度對(duì)接國(guó)家重大需求、面向國(guó)家經(jīng)濟(jì)主戰(zhàn)場(chǎng)，積極承擔(dān)重大項(xiàng)目、組建重大團(tuán)隊(duì)、產(chǎn)出重大成果。承擔(dān)縱向及橫向科研項(xiàng)目30項(xiàng)，發(fā)表論文100余篇，授權(quán)發(fā)明專利150項(xiàng)，制修訂國(guó)家或行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)32項(xiàng)，相關(guān)成果獲得國(guó)家省部各級(jí)獎(jiǎng)勵(lì)共13項(xiàng)。

“尤其是針對(duì)半導(dǎo)體芯片、航空、船舶、汽車等領(lǐng)域加工需求，開發(fā)了多個(gè)系列的成套砂輪，打破了國(guó)外壟斷，解決了多項(xiàng)精密加工‘卡脖子’難題，處于國(guó)際先進(jìn)水平，有效地促進(jìn)了行業(yè)技術(shù)進(jìn)步，增強(qiáng)了我國(guó)超硬材料磨具行業(yè)的原始創(chuàng)新能力與核心競(jìng)爭(zhēng)力。”劉明耀說。